离子注入
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离子注入
离子注入
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n用途介绍
离子注入是将某种元素电离成离子,并使其在电场中加速,获得一定能量后注入固体材料表面内一定深度,以改变材料的物理、化学特性的一种技术。在离子的发生、偏转及接收位置,都需要相应的石墨部件。
n用途要求
要求石墨产品具有高纯度以避免污染,高硬度、高强度、高密度等以减少自身颗粒的析出。
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